日本EZO进口精密微型不锈钢在半导体设备中运行常见故障汇总分析

日本EZO进口精密微型不锈钢在半导体设备中运行常见故障汇总分析
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①日本EZO进口精密微型不锈钢磨损
由于体和滚道的相对运动和污物尘埃的侵入，使体和滚道表面产生磨损。磨损量较大时，使日本EZO进口精密微型不锈钢游隙、噪声、振动增大，降低了日本EZO进口精密微型不锈钢的运转精度，因而直接影响到 一些主机的精度。　
②塑性变性（永久变形）
日本EZO进口精密微型不锈钢承受载荷后，在体和滚道接触处产生塑性变形。载荷过重时，会在滚道表面形成塑性变形凹坑，而使日本EZO进口精密微型不锈钢在运转中产生剧烈的振动和噪声。　
③疲劳剥落
在日本EZO进口精密微型不锈钢中，承受载荷而又相对运动的接触表面（滚道或体表面），由于反复承受载荷，首先在表面下，一定深度处，强度较弱的部分形成裂纹。
继而发展至接触表面，使表层金属成片状录落下来，致使日本EZO进口精密微型不锈钢不能正常工作，这种现象称为疲劳剥落。
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